공용기기

다양한 샘플에 대하여 원자 수준의 분해능을 제공하고 시료 표면과 탐침 사이의 미세한 원자력을 감지함으로써 시료 표면의 형상을 측정 할 수 있는 장비

∙ Non-contact mode
∙ Decoupled XY and Z scanner
∙ Scan range of XY scanner : 50 μm
∙ Scan range of Z scanner : 25 μm
∙ Resolution : 2~3 Å lateral, 0.1 Å vertical

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