공용기기

뾰족한 압자(indenter)를 수 mN 크기의 하중으로 박막에 압입하여 박막을 나노미터 스케일로 변형시켜서 박막의 경도와 탄성계수 등 기계적 특성을 평가 할 수 있는 장비

• Normal Force: less 10mN (Force bit Resolution: less 3nN @ 1uN for 10 mN)
• Piezoelectric X,Y,Z scanner
• Optical Magnification: 1X ~ 12.9X CCD Camera
• Auto X-Y Translation Stage (50mm X 50mm)
• Lateral Force
- up to 2mN lateral force control by transducer
- Capacitor type of transducer