공용기기

시료 영상화
- 열방출형 전자총을 이용하여 전자빔을 시료에 주사하고, 시료에서 발생하는 후방산란전자(BSE) 신호를 검출기를 이용하여 영상화
- 빠른 시료 교체와 대형 시료 스테이지로 진공 시간 소모를 줄이고, 다양한 자동 기능(자동-명암 밝기 조정, 자동-초점, 자동-비점수차 보정 기능 등)을 통해서 다수의 사용자가 이용 가능
- 대면적 자동 이미지 맵핑 기능을 이용하여 간단한 조작으로 다수의 고해상도 이미지를 자동으로 촬영할 수 있으며, 촬영을 마친 이미지를 이미지 결합 기능(Stitching)을 이용하여 대면적 분석을 진행

1. 배율
1) 광학: x20 to x134
2) 전자현미경:　x160 to x202,168
2. 가속전압:　５kV to 20kV
3. 분해능: < 9nm
4. 전자총 수명: 3000 hrs
5. 챔버 진공
1) 고진공 모드: 10^-2 Pa
2) 저진공 모드: 60 Pa
6. 시료 크기: 100mm x 100mm (up to 36x 12mm pin stubs)
7. 이미지 해상도: Max. 7,680x4,800 pixels
8. 이미지 형식: JPEG, TIFF, BMP

1. 건조 되지 않은 습기 있는 시료 불가.
2. 분진이 날리는 시료 불가.